特許
J-GLOBAL ID:200903035716451007
感光性ペースト
発明者:
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出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平8-116375
公開番号(公開出願番号):特開平9-304923
出願日: 1996年05月10日
公開日(公表日): 1997年11月28日
要約:
【要約】【課題】高精度のパターン加工を可能にする感光性ペーストを提供する。【解決手段】導電性金属と感光性化合物を含む有機成分と可視光感光型の重合開始剤を必須成分とする感光性ペースト。
請求項(抜粋):
感光性化合物を含む有機成分と導電性金属と可視光感光型の重合開始剤を必須成分とする感光性ペースト。
IPC (2件):
G03F 7/004 501
, H01J 9/02
FI (2件):
G03F 7/004 501
, H01J 9/02 F
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