特許
J-GLOBAL ID：200903035719120362
薬品処理装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
井桁 貞一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-171936
公開番号（公開出願番号）：特開平7-024399
出願日： 1993年07月13日
公開日（公表日）： 1995年01月27日
要約：
【要約】【目的】 薬品処理装置に関し,薬液の供給を低エネルギーで行い,同時に薬液の排出の冷却を行えるようにする。【構成】 被処理物を薬品槽 5に充たされた薬液中に浸漬して処理を行う薬品処理装置であって,該薬品槽に供給する薬液と, 該薬品槽より排出する排液との間で熱交換を行う熱交換器 8を有する。
請求項（抜粋）：
被処理物を薬品槽(5) に充たされた薬液中に浸漬して処理を行う薬品処理装置であって,該薬品槽(5) に供給する薬液と, 該薬品槽より排出する排液との間で熱交換を行う熱交換器(8) を有することを特徴とする薬品処理装置。
IPC (4件)：
B05C 11/10
, B05C 3/02
, H01L 21/304
, H01L 21/306
