特許
J-GLOBAL ID:200903035719541082

塗膜研磨方法及びその装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 前田 弘 (外2名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平4-299692
公開番号(公開出願番号):特開平6-143133
出願日: 1992年11月10日
公開日(公表日): 1994年05月24日
要約:
【要約】【目的】 被研磨物の研磨面の位置ずれに関係なく、規定の押付圧でもって研磨する。【構成】 送り制御手段13によってロボットアーム1の送り速度を制御し、塗膜の欠陥に所定の送り速度でもって研磨パッド4を押付ける。そのとき、塗膜の欠陥に対する研磨パッド4の押付圧を力センサ2が検出する。そして押付圧が規定の押付圧に達したときに、送り制御手段13によって研磨パッド4の送りを停止する。駆動制御手段15が研磨パッド4を駆動して塗膜の欠陥を研磨する。
請求項(抜粋):
塗膜の欠陥を研磨材にて研磨する塗膜研磨方法であって、上記研磨材を塗膜の欠陥に所定の送り速度でもって押し付けつつ、塗膜の欠陥に対する研磨材の押付圧を検出し、該押付圧が所定圧に達したときに研磨材の送りを停止し、該研磨材を駆動して塗膜の欠陥を研磨することを特徴とする塗膜研磨方法。
IPC (4件):
B24B 49/16 ,  B24B 27/00 ,  B24B 29/00 ,  B24B 47/20
引用特許:
審査官引用 (2件)
  • 特開平3-245943
  • 特開平3-245943

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