特許

J-GLOBAL ID：200903035723208355

静電チャック

発明者： 辰己 良昭 ,  宮田 征一郎
出願人/特許権者： 株式会社創造科学 ,  有限会社宮田技研
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-240492
公開番号（公開出願番号）：特開平8-070036
出願日： 1994年08月29日
公開日（公表日）： 1996年03月12日
要約：

【要約】【目的】 低温から高温まで広い温度範囲で使用できる静電チャックの構造およびにプラズマ放電の静電チャック周囲への回り込みを防止できる構造に関わる。【構成】 静電チャックの吸着機構部が、炭素材料あるいは炭素の複合材料からなる台座の上にロー付けされた構造からなることを特徴とする。

請求項（抜粋）：

静電チャックの吸着機構部が、間に電極金属の層を挟んで絶縁体セラミックの板の上に誘電体セラミックの板が接合一体化された三層構造からなり、該絶縁体と誘電体の板は電極形状に配された接合金属の層によって冶金的に融着接合されてなることを特徴とする静電チャック。

IPC (6件)：

H01L 21/68 ,  B23Q 3/15 ,  H01J 27/02 ,  H01J 37/317 ,  H01L 21/265 ,  H01L 21/027

FI (2件)：

H01L 21/265 E ,  H01L 21/30 503 C