特許
J-GLOBAL ID：200903035732413689
ガスの熱伝導度によりガス濃度を測定する方法及びこの方法を用いたガス濃度計
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-220923
公開番号（公開出願番号）：特開2001-041914
出願日： 1999年08月04日
公開日（公表日）： 2001年02月16日
要約：
【要約】【課題】 化学的に極めて安定なガスであるが故に、化学反応手段では測定することができなかったSF6ガスのガス濃度を計測可能にする。【解決手段】 ピラニ真空計1を付設した容器3内に被測定ガスを導入し、圧力を一定の負圧(本実施例では700トール)に保った時の該被測定ガスの熱伝導度を、該ピラニ真空計の出力信号を得て、その出力信号から演算してこの被測定ガスの濃度を計測できるようにする。
請求項（抜粋）：
熱伝導度が判っており、両者のそれに差異のあるガスの混合濃度を測定する手段が、該ガスの圧力を一定に保った容器の中に高温発熱体をおき、この高温発熱体の温度を計測することにより、該ガスの熱伝導度を算出して得ると共に、この熱伝導度の関数である該ガスの混合濃度を、前記の熱伝導度を演算処理をして得ることを特徴とするガスの混合濃度の測定方法。
Fターム (16件)：
2G040AA03
, 2G040AB05
, 2G040AB07
, 2G040AB09
, 2G040BA14
, 2G040BA23
, 2G040CA02
, 2G040CA10
, 2G040CB03
, 2G040EA02
, 2G040EB02
, 2G040EC03
, 2G040GB01
, 2G040GC01
, 2G040GC07
, 2G040HA16
