特許
J-GLOBAL ID：200903035732843829
マイクロ波によるプラズマ発生装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
奈良 武
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平2-417810
公開番号（公開出願番号）：特開平5-326189
出願日： 1990年12月21日
公開日（公表日）： 1993年12月10日
要約：
【要約】【目的】 円偏向されたマイクロ波によってプラズマを発生する装置を提供する。【構成】 マイクロ波発振器からの直線偏向されたマイクロ波を市販のモード変換器で円偏波に変換し、その後ホーンを経てプラズマチェンバ内に供給する。従ってモード変換器は電力供給源の幾何学的形状に整合させる必要はもはやない。又、プラズマの量従って基板表面を著しく大きくすることができる。
請求項（抜粋）：
マイクロ波発振器(17)と、このマイクロ波発振器(17)に接続されたモード変換器(12)と、プラズマチェンバ(1, 21, 64) とを備え、円偏向されたマイクロ波によってプラズマ(70)を発生させる装置において、前記モード変換器(12)によって直線偏向されたマイクロ波を円偏向されたマイクロ波に変換し、これによりH11 基本波をその内部に優先して伝播し、円形-円柱ホーン導波管(10, 62)によってその入力開口を前記モード変換器(12)に隣接させると共にその出力開口をプラズマチェンバ(1, 21, 64) に隣接するようにしたことを特徴とするマイクロ波によるプラズマ発生装置。
引用特許：
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