特許

J-GLOBAL ID：200903035734577433

液晶表示素子の製造装置

発明者： 河端 邦春 ,  中島 靖
出願人/特許権者： カシオ計算機株式会社
代理人 (1件)： 鈴江 武彦 (外5名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-308169
公開番号（公開出願番号）：特開平10-148830
出願日： 1996年11月19日
公開日（公表日）： 1998年06月02日
要約：

【要約】【課題】 配向膜の膜面に対するラビングローラの接触圧力を均一に保って高い精度でその膜面に適正な配向処理を施すことができる液晶表示素子の製造装置、および互いに重なり合った一対の基板の全体を均一に加圧し、その両基板間のギャップ幅をばらつきなく高い精度で均一に保持して両基板を接合することができる液晶表示素子の製造装置を提供する。【解決手段】 ラビングローラ5の水平に対する上下の傾斜姿勢を制御する姿勢制御素子7を設け、ラビングローラ5の下降に伴うそのラビングローラ5と基板ステージ1の上の基板Aの配向膜との接触時の圧力分布を検出する圧力センサを設け、この圧力センサが検出する圧力分布のデータに基づいて姿勢制御素子7を介してラビングローラ5の水平に対する上下の傾斜姿勢を逐次制御しながら配向膜の膜面をラビングする。

請求項（抜粋）：

基板ステージおよびこの基板ステージの上方に水平に配置したラビングローラを備え、配向膜を形成した基板を前記基板ステージの上に載置し、前記ラビングローラを基板ステージに対して相対的に下降させて前記基板の配向膜にラビングローラの表面を接触させるとともに、基板ステージをラビングローラに対して相対的に水平に移動させることにより、前記ラビングローラの表面で前記配向膜の膜面を所定方向にラビングする装置において、前記ラビングローラの水平に対する上下の傾斜姿勢を制御する姿勢制御手段を設け、前記ラビングローラの下降に伴うそのラビングローラと基板ステージの上の基板の配向膜との接触の圧力分布を検出する圧力検出手段を設け、この圧力検出手段が検出する圧力分布のデータに基づいて前記姿勢制御手段を介してラビングローラの水平に対する上下の傾斜姿勢を逐次制御しながら配向膜の膜面をラビングすることを特徴とする液晶表示素子の製造装置。