特許
J-GLOBAL ID：200903035737343972
基板処理モジュールに対して垂直に整列配置された基板ホルダを有する基板搬送チャンバ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
藤村 元彦 (外1名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-514221
公開番号（公開出願番号）：特表2003-506861
出願日： 2000年06月14日
公開日（公表日）： 2003年02月18日
要約：
【要約】 基板処理装置(10)は、基板搬送チャンバ(12)、チャンバの外側に固定された基板処理モジュール(14)、チャンバ内の位置する基板ホルダ(32)を有する。ロボット(22)は、多数の処理モジュール及び基板ホルダの間で基板を搬送する。基板ホルダは、移動自在にチャンバに接続され、処理モジュールの少なくとも1つに対して垂直方向に上又は下に位置する。サブエンクロージャ部材(36)は、入り口が開口しているとき、チャンバ内の入口開口に位置するチャンバと移動自在に接続され得て、チャンバの内室が開いた入口開口へ曝されことを防止する。
請求項（抜粋）：
基板搬送チャンバに取り付けられた複数の基板処理モジュールの間で基板を搬送するための基板処理装置基板搬送チャンバであって、 前記基板搬送チャンバは、前記基板処理モジュールを第1領域の外部に取り付けるための基板処理モジュール取付領域を有する第1領域と、前記第1領域から伸張する第2領域と、からなり、 前記取付領域の各々は前記第1領域の内室と前記処理モジュールとの間で基板を通過させるための前記搬送チャンバの壁を貫通する穴を有し、前記第2領域は前記第1領域と相対的に外側方向へ伸張する一部分を有し且つ前記第1領域の前記内室と連通する内室を有し、少なくとも1つの基板処理モジュールを通過する垂直軸は前記第2領域の前記一部分を通過し、前記少なくとも1つの基板処理モジュール及び前記第2領域の前記一部分の前記内室は少なくとも部分的に上下に整列配置されていることを特徴とする基板搬送チャンバ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L 21/68 A
, B65G 49/00 A
5F031CA02
, 5F031CA05
, 5F031DA08
, 5F031EA14
, 5F031FA01
, 5F031FA03
, 5F031FA07
, 5F031FA09
, 5F031GA03
, 5F031GA48
, 5F031MA02
, 5F031NA05
, 5F031NA10
