透明導電膜

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：上田章三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-333910
公開番号（公開出願番号）：特開平9-143680
出願日： 1995年11月28日
公開日（公表日）： 1997年06月03日
要約：

【要約】【課題】高価な材料を使用することなく、導電性と可視光線透過率が高く、しかも経時劣化がなく保存安定性に優れた透明導電膜を提供すること。【解決手段】この透明導電膜2は、ガラス基板10上に順次積層された透明酸化物薄膜21と銀系薄膜22及び透明酸化物薄膜23とで構成されており、透明酸化物薄膜21、23は酸化チタン及び酸化セリウムを含有する酸化錫の薄膜から構成されており、その組成比は錫元素、チタン元素及びセリウム元素の合計量に対し、錫元素79.5atom%、セリウム元素20atom%、チタン元素0.5atom%となる量である。そして、透明酸化物薄膜中に銀との固溶域を実質的に持たないセリウム元素やチタン元素の酸化物が含有されているため、安価な錫元素を使用しているにも拘らず水分の存在下においても銀系薄膜中の銀元素と透明酸化物との反応を防止でき、銀系薄膜の損傷を防ぐことが可能となる。

請求項（抜粋）：

厚さ5〜20nmの銀系薄膜と、この銀系薄膜の表裏に設けられた透明酸化物薄膜とから成る透明導電膜において、上記透明酸化物薄膜が、酸化錫から成る第1の基材と、銀との固溶域を実質的に持たない元素の酸化物から成る第2の基材との混合酸化物により構成されていることを特徴とする透明導電膜。

IPC (4件)：

C23C 14/08 , C01G 19/02 , G02F 1/1343 , G09F 9/30 335

FI (4件)：

C23C 14/08 N , C01G 19/02 , G02F 1/1343 , G09F 9/30 335 E

引用特許：

審査官引用 (2件)

特公昭62-038432
特公昭62-038432

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