特許

J-GLOBAL ID：200903035741386880

透明導電膜のパターニング方法と透明電極付き基体

発明者： 河村 有紀 ,  高木 悟 ,  佐藤 一夫 ,  宮崎 正美 ,  林 泰夫 ,  竹中 敦義
出願人/特許権者： 旭硝子株式会社
代理人 (1件)： 泉名 謙治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-034025
公開番号（公開出願番号）：特開平9-232278
出願日： 1996年02月21日
公開日（公表日）： 1997年09月05日
要約：

【要約】【課題】低比抵抗が得られる透明導電膜を、微細電極加工性よくパターニングできる方法と該方法にて形成された透明電極付き基体の提供。【解決手段】酸に可溶な透明酸化物層2、4と金属層3とが積層されてなる透明電導膜のパターニング方法において、金属層3の主成分とする金属に対して酸化性を有する酸性水溶液からなるエッチング液を用いてパターニングする透明導電膜のパターニング方法と透明電極付き基体。

請求項（抜粋）：

酸に可溶な透明酸化物層と金属層とが積層されてなる透明電導膜のパターニング方法において、金属層の主成分とする金属に対して酸化作用を有する酸性水溶液からなるエッチング液を用いてパターニングすることを特徴とする透明導電膜のパターニング方法。

IPC (2件)：

H01L 21/306 ,  H01L 21/3213

FI (2件)：

H01L 21/306 F ,  H01L 21/88 C

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 多層導電膜のエッチング方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-236167   出願人：凸版印刷株式会社