特許

J-GLOBAL ID：200903035746023719

透明電極、その製造方法及びその応用装置

発明者： 前川 幸子 ,  大石 知司 ,  石川 敬郎 ,  荻原 覚
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所
代理人 (1件)： 小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-053558
公開番号（公開出願番号）：特開平6-267461
出願日： 1993年03月15日
公開日（公表日）： 1994年09月22日
要約：

【要約】【目的】イオン拡散防止膜を用いた高品質の透明電極及びその製造方法を得ることを目的とする。【構成】ゾルゲル法でM(OR)n[但しM:金属,R:アルキル基,n:整数を示す。]で示される金属アルコキシド溶液の塗膜を形成し、該塗膜を紫外線照射により硬化して酸化物薄膜を形成する。これをアルカリイオン拡散防止膜として使用した透明電極。【効果】本方法を用いると、ソーダガラス基板からの透明導電膜、及びディスプレイセルへのイオン熱拡散による導電性及び透過率の低下が抑制される。このため本手法で作製したイオン拡散防止膜を備えたディスプレイを作製すると、高品質のディスプレイが安価で得られる。

請求項（抜粋）：

アルカリイオンを含むガラス基板と、該ガラス基板上に形成したイオン拡散防止膜と、該イオン拡散防止膜上に形成した透明導電膜からなる透明電極であって、該ガラス基板から該透明導電膜へのアルカリイオンの拡散量が、ガラス基板と透明導電膜を直接接触させて形成した場合に比べて2%以下である透明電極。

IPC (3件)：

H01J 29/89 ,  C03C 17/34 ,  H01J 29/88

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開昭58-026408
  
• 特開昭62-158136
  
• 特開昭61-118946