特許

J-GLOBAL ID：200903035750846002

磁気記録体の製造装置の基板ホルダー

発明者： 谷 典明 ,  中村 久三 ,  石川 道夫 ,  鈴木 郁生 ,  白 忠烈
出願人/特許権者： 日本真空技術株式会社
代理人 (1件)： 北村 欣一 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-055765
公開番号（公開出願番号）：特開平6-264237
出願日： 1993年03月16日
公開日（公表日）： 1994年09月20日
要約：

【要約】【目的】 非磁性基板にスパッタ法で合金磁性膜を形成する際、高い保磁力を有する磁気記録体を容易に製造することが出来る磁気記録体の製造装置に用いる基板ホルダー。【構成】 基板ホルダーの非磁性基板を保持する基板の受部が、基板ホルダーに開口された透孔の開口縁に設けられた基板の端縁に4個所以上接する点状であり、各受部の間に幅2mm以上で、長さ3mm以上の櫛形状の空隙を有する。

請求項（抜粋）：

スパッタ法により非磁性基板上に5at%以上のCrを含有するCo合金磁性膜を形成して成る磁気記録体の製造装置であって、該装置の非磁性基板を支持する基板ホルダーを通して基板に直流のバイアス電圧を印加する磁気記録体の製造装置の基板ホルダーにおいて、前記基板ホルダーの非磁性基板を保持する基板の受部は基板ホルダーに開口された透孔であって、該透孔の開口縁と基板の端縁の接触が4個所以上で、かつ該受部間に幅2mm以上で長さ3mm以上の櫛形状の空隙を有することを特徴とする磁気記録体の製造装置の基板ホルダー。

IPC (3件)：

C23C 14/50 ,  G11B 5/85 ,  H01F 41/18

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特公平4-050653
  
• 特開平3-036266
  
• 特開平4-000709