特許
J-GLOBAL ID：200903035753094451
静電容量式機械量センサ及び機械量検出装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
中野 雅房
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-117774
公開番号（公開出願番号）：特開平6-307957
出願日： 1993年04月20日
公開日（公表日）： 1994年11月04日
要約：
【要約】【目的】 静電容量式機械量センサとコントローラを結んでいた伝送用の導線をなくす。【構成】 静電容量式機械量センサ1は、機械量を検出する検出部3と、検出部3の静電容量の変化を周波数変化に変換するC-f変換回路4と、機械量情報を光信号として伝送する発光素子5とからなる。コントローラ2は、光信号を受信する受光素子6と、受光素子6の出力(電気信号)を増幅する信号増幅部7と、受信信号を復調すると共に周波数変化を電圧変化に変換して制御信号を出力する信号処理部8とからなる。
請求項（抜粋）：
圧力や加速度等の機械量を静電容量の変化として検出する手段と、検出した情報を非接触伝送する手段とを備えた静電容量式機械量センサ。
IPC (3件)：
G01L 9/12
, G01P 15/125
, G08C 23/00
