特許

J-GLOBAL ID：200903035753274751

誘電体薄膜付き反射鏡

発明者： 豊田 誠司 ,  黒光 祥郎 ,  菅村 邦夫
出願人/特許権者： 三菱マテリアル株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-158165
公開番号（公開出願番号）：特開平11-006906
出願日： 1997年06月16日
公開日（公表日）： 1999年01月12日
要約：

【要約】【課題】誘電体薄膜付き反射鏡を提供する。【解決手段】AlまたはAl合金により形成された基体と、該基体上に形成されたAl2O3層と、該Al2O3層上に形成されたガラス層と、該ガラス層上に形成された高屈折率層と低屈折率層とが交互に複数回積層された積層体とを備えたことを特徴とする誘電体薄膜付き反射鏡、必要に応じて、上記ガラス層が0.1μm〜200μmの厚さに形成され、上記高屈折率層が30〜150nm、上記低屈折率層が60〜300nmの厚さで、更に、上記Al2O3層が0.1〜50μmの厚さに形成された誘電体薄膜付き反射鏡。

請求項（抜粋）：

AlまたはAl合金により形成された基体と、該基体上に形成されたAl2O3層と、該Al2O3層上に形成されたガラス層と、該ガラス層上に形成された高屈折率層と低屈折率層とが交互に複数回積層された積層体とを備えたことを特徴とする誘電体薄膜付き反射鏡。

IPC (6件)：

G02B 5/08 ,  B32B 7/02 103 ,  B32B 9/00 ,  B32B 17/06 ,  G02B 5/10 ,  G02B 7/188

FI (6件)：

G02B 5/08 A ,  B32B 7/02 103 ,  B32B 9/00 A ,  B32B 17/06 ,  G02B 5/10 C ,  G02B 7/18 702