特許

J-GLOBAL ID：200903035758022408

照明光学系、投影露光装置、及びデバイス製造方法

発明者： 鈴木 健司
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-019606
公開番号（公開出願番号）：特開2001-332489
出願日： 2001年01月29日
公開日（公表日）： 2001年11月30日
要約：

【要約】【課題】 157nm未満の光を効率良く均一な強度分布の光とすることができる照明光学装置、投影露光装置、デバイス製造方法を提供する。【解決手段】 本発明の照明光学装置は、内壁面10Fを有する中空の部材からなり、内壁面に反射膜を形成し中空部に入射した光束を反射する光学素子10と、光学素子10の出射側に配置され物側と像側の両側でテレセントリックであり且つ少なくとも2面以上の反射鏡を含む結像光学系M2,M3とを有する。

請求項（抜粋）：

内壁面を有する中空の部材からなり、前記内壁面に反射膜を形成し、前記中空部に入射した光束を反射する光学素子と、前記光学素子の出射側に配置され、物側と像側の両側でテレセントリックであり且つ少なくとも2面以上の反射鏡を含む結像光学系とを有することを特徴とする照明光学系。

IPC (4件)：

H01L 21/027 ,  G02B 17/00 ,  G03F 7/20 502 ,  G03F 7/22

FI (4件)：

G02B 17/00 A ,  G03F 7/20 502 ,  G03F 7/22 H ,  H01L 21/30 515 D

Fターム (12件)：

2H087KA21 ,  2H087TA04 ,  2H097AA02 ,  2H097AB09 ,  2H097BA10 ,  2H097CA13 ,  2H097EA01 ,  2H097GB01 ,  2H097LA10 ,  5F046CB02 ,  5F046CB27 ,  5F046DA12