特許
J-GLOBAL ID：200903035758775848
処理装置の電極用冷却装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
亀谷 美明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-364339
公開番号（公開出願番号）：特開2002-168551
出願日： 2000年11月30日
公開日（公表日）： 2002年06月14日
要約：
【要約】【課題】 処理装置の電極を冷却するための冷媒を冷凍回路で直接的に温調することなく,省エネルギ化を図ることの可能な,処理装置の電極用冷却装置を提供する。【解決手段】 冷却装置110は,熱交換器138により温調された一次冷媒CW1を電極内を循環させて電極を温調する一次冷媒循環回路と,熱交換器に二次冷媒CW2を供給して一次冷媒を温調する二次冷媒循環回路と,第1熱交換器141が二次冷媒循環回路に介装されて,三次冷媒により二次冷媒を温調する冷凍回路140とを備える。一次冷媒を冷凍回路で温調することなく,二次冷媒で温調している。一次冷媒を二次冷媒の温度よりも高温設定する場合には,二次冷媒のみで一次冷媒の温調を行うことができる。一次冷媒を二次冷媒の温度よりも低温設定する場合にのみ,冷凍回路により二次冷媒を温調するので,省エネルギ化を図ることができる。
請求項（抜粋）：
処理装置の電極用冷却装置において,熱交換器とポンプとから成り,前記熱交換器により温調された一次冷媒を前記電極内を循環させて電極を温調する一次冷媒循環回路と,前記熱交換器に二次冷媒を供給して前記一次冷媒を温調する二次冷媒循環回路と,圧縮機と凝縮器と膨張弁と蒸発器とから成り,三次冷媒が循環する冷凍回路であって,前記蒸発器が前記二次冷媒循環回路に介装されて,前記三次冷媒により前記二次冷媒を温調する冷凍回路と,を備えたことを特徴とする,処理装置の電極用冷却装置。
IPC (2件)：
F25D 17/02 301
, H01L 21/3065
F25D 17/02 301
, H01L 21/302 B
5F004AA16
, 5F004BB18
, 5F004BB25
, 5F004BB28
, 5F004BD03
, 5F004CA04
