特許
J-GLOBAL ID:200903035761289628

ミラ-装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 小島 俊郎
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平4-134405
公開番号(公開出願番号):特開平5-307110
出願日: 1992年04月28日
公開日(公表日): 1993年11月19日
要約:
【要約】【目的】光源から出る放射光の光束を実験試料に確実に集光する。【構成】ミラ-1を湾曲させたときに反射面が楕円面になるようにミラ-1又はミラ-を保持するホルダ11の断面形状をミラ-1の長さに沿って変化させ、ミラ-断面の曲げ剛性を長手方向に連続的に変化させる。
請求項(抜粋):
ミラ-の長手方向に曲げモ-メントを与えて反射面に変形を与え、ビ-ムラインからの放射光を反射して実験試料に集光するミラ-装置において、ミラ-の断面の曲げ剛性を長手方向に連続的に変化させて、ミラ-を楕円面に変形することを特徴とするミラ-装置。
IPC (3件):
G02B 5/10 ,  G21K 1/06 ,  H05H 13/04
引用特許:
審査官引用 (2件)
  • 特開昭51-026552
  • 特開昭51-115842

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