特許
J-GLOBAL ID：200903035768126376
被検物の傾き検出方法及び投影露光装置並びに周期的変化信号の周期検出方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-218259
公開番号（公開出願番号）：特開平5-055115
出願日： 1991年08月29日
公開日（公表日）： 1993年03月05日
要約：
【要約】【目的】本発明はレ-ザビ-ムの干渉を用いて被検物やレ-ザビ-ムそのものの傾きを非常に高い精度で測定する方法及び手段を提供することを目的としている。【構成】被検物からのレ-ザ反射光と参照光とにより発生した干渉縞を検出し、その信号をFFTし、その結果のスペクトルの縞周期に対応する部分の最大値を与えるサンプル点とその隣の大きい方の点の両デ-タから求めた内挿スペクトルピ-クを与えるスペクトル位置Δ’と、上記最大値とその両隣の3つのデ-タから求めた内挿スペクトルピ-クを与えるスペクトル位置Δ”とのデ-タからスペクトル位置Δを重み付け平均により求め、被検物の傾きを正確に求める。このような傾き検出手段を持った投影露光装置、水準計、あるいは測量器からなる。【効果】本発明により特に0.5μm以下のパタ-ン線幅からなるLSIの縮小露光において、1μm以下の狭い焦点深度に対し、周辺部を含めたウエハ全面を高い解像度で確実に露光することが可能になり、LSIの高性能化と高歩留り化に大きく寄与する。
請求項（抜粋）：
可干渉光を2分し、一方を所望の角度で被検物に照射し、その反射光と、該2分した他方の参照光を干渉させ、この干渉縞を検出し、干渉縞のピッチ、即ち周期から被検物の傾きを検出する傾き検出方法において、該検出干渉縞信号の周期に相当するスペクトル近傍のサンプル点における最大値を与えるサンプル点j0と、その両隣のサンプル点j0-1,j0+1の合計3点のスペクトルデ-タから求めた近似曲線から得られる内插スペクトルピ-ク位置j0+Δ’(|Δ’|≦0.5)と、該3点のうち最大値と次に大きな値を有するスペクトルデ-タから求めた内插スペクトルピ-ク位置j0+Δ”(|Δ”|≦0.5)を求め、Δ’とΔ”を用いて正確なスペクトルピ-ク位置j0+Δ(|Δ|≦0.5)を求め、この値から周期的に変化する信号の周期を正確に求め、この周期から被検物の傾きを算出することを特徴とする被検物の傾き検出方法。
IPC (5件)：
H01L 21/027
, G03F 7/20 521
, G03F 9/00
, H01S 3/00
, B23K 26/02
