特許
J-GLOBAL ID：200903035768832084
角速度センサ
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
恩田 博宣 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-077093
公開番号（公開出願番号）：特開2001-264072
出願日： 2000年03月17日
公開日（公表日）： 2001年09月26日
要約：
【要約】【課題】 角速度感度を簡易に測定してその感度調整を行うことができる角速度センサを提供する。【解決手段】 駆動枠11及び検出枠12はシリコン基板10に対して浮動支持されている。駆動枠11及び検出枠12がx方向に振動駆動されている状態においてz軸廻りの角速度が加えられると、角速度に基づくコリオリの力に応じて検出枠12はy方向に振動する。この検出枠12のy方向の振動は、変位信号として検出され、同変位信号に基づき加えられた角速度が検出される。この角速度センサは、検出枠12との間の静電引力が変動するように駆動信号が入力されて同検出枠12をy方向に振動駆動する測定電極16a,16bを備えている。測定電極16a,16bに入力される駆動信号及び変位信号に基づき検出枠12のy方向の共振周波数及びQ値が測定される。
請求項（抜粋）：
基板に対して浮動支持され、x方向に振動駆動されている状態においてz軸廻りの角速度が加えられることにより該角速度に基づくコリオリの力に応じてy方向に振動する振動子と、該振動子のy方向の変位信号を検出する変位検出手段とを備え、該検出された振動子のy方向の変位信号に基づき角速度を検出する角速度センサにおいて、前記振動子との間の静電引力が変動するように駆動信号が入力されて該振動子をy方向に振動駆動する測定電極を備え、前記測定電極に入力される駆動信号及び前記変位検出手段により検出される変位信号に基づき、該振動子のy方向の共振周波数及びQ値を測定することを特徴とする角速度センサ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (6件)：
2F105AA10
, 2F105BB15
, 2F105BB20
, 2F105CC04
, 2F105CD03
, 2F105CD05
