感放射線性樹脂組成物

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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-094469
公開番号（公開出願番号）：特開平8-262712
出願日： 1995年03月28日
公開日（公表日）： 1996年10月11日
要約：

【要約】【構成】アルカリ可溶性樹脂および、例えば下記式(1)【化1】で表される化合物の1,2-キノンジアジドスルホン酸エステル化合物を含有することを特徴とする感放射線性樹脂組成物。【効果】本発明の感放射線性樹脂組成物は、スカムの発生が有効に抑制され、現像性に優れているとともに高解像度で耐熱性に優れ、特に、良好なフォーカス許容性を備えたポジ型レジストとして好適である。そのため本発明の感放射線性樹脂組成物は高集積度の集積回路作成用レジストとして好適に使用できる。

請求項（抜粋）：

アルカリ可溶性樹脂および下記式(1)【化1】〔式(1)中、X1〜X24およびY1〜Y4は、それぞれ相互に同一または異なり、水素原子、アルキル基、アルコキシル基または-ODで示される基(但し、Dは水素原子または1,2-キノンジアジド基を含有する有機基である。)であり、Aは、メチレン基、1,1-ジメチルメチレン基、1,1-ビス(トリフルオロメチル)メチレン基、カルボニル基、スルホン基、エーテル基、チオエーテル基または単結合であり、X1〜X5の少なくとも1つ、X6〜X10の少なくとも1つ、X11〜X15の少なくとも1つ、X16〜X20の少なくとも1つ、Y1〜Y2の少なくとも1つおよびY3〜Y4の少なくとも1つは-ODで示される基であり、これら-ODで示される複数個のDの少なくとも1つは、1,2-キノンジアジド基を含有する有機基である。〕で表される1,2-キノンジアジド化合物を含有することを特徴とする感放射線性樹脂組成物

IPC (3件)：

G03F 7/022 , G03F 7/039 , H01L 21/027

FI (3件)：

G03F 7/022 , G03F 7/039 , H01L 21/30 502 R

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