特許

J-GLOBAL ID：200903035770153712

連続真空シール装置

発明者： 松尾 祐三 ,  北折 典之 ,  吉田 修 ,  水野谷 博英 ,  佐々木 克己 ,  志賀 章 ,  石川 准子
出願人/特許権者： 花王株式会社
代理人 (1件)： 古谷 馨 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-181803
公開番号（公開出願番号）：特開平9-031652
出願日： 1995年07月18日
公開日（公表日）： 1997年02月04日
要約：

【要約】【目的】 水分が真空側へ取り込まれることが阻止できる連続真空シール装置を提供すること。【構成】 本発明の連続真空シール装置は、段階的に高い真空になっていく一連の減圧室を有し帯状体が各減圧室を通過するように構成された連続真空シール装置において、10-2〜10-4Torrの真空圧を有する減圧室内にボンバード電極を帯状体の両側に配設したことを特徴とする。

請求項（抜粋）：

段階的に高い真空になっていく一連の減圧室を有し帯状体が各減圧室を通過するように構成された連続真空シール装置において、10-2〜10-4Torrの真空圧を有する減圧室内にボンバード電極を帯状体の両側に配設したことを特徴とする連続真空シール装置。