特許

J-GLOBAL ID：200903035777530210

搬送装置

発明者： 武田 洋幸 ,  中村 秀樹
出願人/特許権者： 光洋サーモシステム株式会社 ,  千住金属工業株式会社
代理人 (1件)： 岸本 瑛之助 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-036847
公開番号（公開出願番号）：特開2002-240940
出願日： 2001年02月14日
公開日（公表日）： 2002年08月28日
要約：

【要約】【課題】 構成が簡単でかつ搬送速度の調整が自在であるウォーキングビーム式搬送装置を提供することを目的とする。さらに、ローダ、アンローダとの間で被処理物の移載が容易な搬送装置を提供する。【解決手段】 左右に間隔をおいて設けられかつ前後方向に伸びる一対の第1移動ビーム4と、第1移動ビーム4間に、左右に間隔をおいて設けられかつ前後方向に伸びる第2移動ビーム5の対とを備えている。第1移動ビーム4が前後に移動し、第2移動ビーム5が上下に移動して被処理物Pが第1移動ビーム4と第2移動ビーム5との間で載せ替えられて前方に搬送される。

請求項（抜粋）：

左右に間隔をおいて設けられかつ前後方向に伸びる一対の第1移動ビームと、第1移動ビーム間に、左右に間隔をおいて設けられかつ前後方向に伸びる第2移動ビームの対とを備え、第1移動ビームおよび第2移動ビームのいずれか一方が前後に移動し、同他方が上下に移動して被処理物が第1移動ビームと第2移動ビームとの間で載せ替えられて前方に搬送されることを特徴とする処理装置用の搬送装置。

IPC (5件)：

B65G 49/07 ,  B65G 25/02 ,  B65G 49/06 ,  F27B 9/24 ,  H01L 21/68

FI (5件)：

B65G 49/07 C ,  B65G 25/02 A ,  B65G 49/06 Z ,  F27B 9/24 W ,  H01L 21/68 A

Fターム (16件)：

3F036BA03 ,  3F036CB02 ,  4K050AA02 ,  4K050AA09 ,  4K050BA16 ,  4K050CG14 ,  5F031CA02 ,  5F031CA05 ,  5F031FA01 ,  5F031FA02 ,  5F031FA07 ,  5F031GA51 ,  5F031GA52 ,  5F031HA58 ,  5F031MA30 ,  5F031NA02

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特開平3-247988
  
• 特開平3-213991