特許

J-GLOBAL ID：200903035782255650

ガラス状カーボン材及びその製造方法並びにそれを基材とするドライエッチング電極又はダミーウェーハ

発明者： 太田 直人 ,  尾藤 信吾 ,  野崎 秀彦 ,  曽我部 敏明
出願人/特許権者： 東洋炭素株式会社
代理人 (1件)： 梶 良之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-015738
公開番号（公開出願番号）：特開平11-217265
出願日： 1998年01月28日
公開日（公表日）： 1999年08月10日
要約：

【要約】【課題】 実用上無気孔のガラス状カーボン材を提供する。【解決手段】 重量平均分子量が1000以上であって、前記重量平均分子量と数平均分子量の比で規定される分子量分布が1.1〜5.0の範囲にある熱硬化性樹脂を炭素化して得られるガラス状カーボン材である。このようなガラス状カーボン材を基材に用いてドライエッチング電極又はダミーウェーハを得る。

請求項（抜粋）：

重量平均分子量が1000以上であって、前記重量平均分子量と数平均分子量の比で規定される分子量分布が1.1〜5.0の範囲にある熱硬化性樹脂を炭素化して得られるガラス状カーボン材。

IPC (4件)：

C04B 35/52 ,  C01B 31/02 101 ,  H01L 21/02 ,  H01L 21/3065

FI (4件)：

C04B 35/52 A ,  C01B 31/02 101 A ,  H01L 21/02 B ,  H01L 21/302 B