特許
J-GLOBAL ID：200903035783408345
表面検査装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小林 和憲
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-227792
公開番号（公開出願番号）：特開平8-094532
出願日： 1994年09月22日
公開日（公表日）： 1996年04月12日
要約：
【要約】【目的】 透明度の高い被検査体の表面又は内部に存在する欠陥を、簡単な構成で、かつ確実に検出する。【構成】 受光器12は検査光25の光軸25a上に配置され、その受光レンズ12a上に検査光25のスポット径よりも僅かに幅広のマスク26が設けられている。この受光器12は、光軸25aに対して微小角範囲内に散乱した検査光25を光電検出する。また受光器13は、その受光光軸13aが検査光25の光軸25aに対して検査部17aで角度θだけ傾けられ、大きな角度で散乱した検査光25を光電検出する。信号処理回路16は、受光器12又は13の検出信号のレベルが高い時に欠陥信号を発生する。なお、角度θは30°〜50°の範囲内とすればよい。
請求項（抜粋）：
連続走行する透明な被検査体に検査光を照射し、被検査体からの散乱透過光を光電検出して欠陥の有無を識別する表面検査装置において、前記被検査体の表面に走行方向に対して交叉する方向に検査光を走査する投光器と、被検査体の背面側に検査光の走査方向に沿って配置され、被検査体を正透過してきた検査光を遮断するマスクを有するとともに、被検査体を微小角範囲内で散乱透過してきた検査光を受光する第1の受光器と、被検査体の背面側に前記第1の受光器と平行に配置され、被検査体により前記微小角範囲よりも大きな角度で散乱透過してきた検査光を受光する第2の受光器と、第1又は第2の受光器から得られる検出信号のレベルが、それぞれ予め決められた規定レベルを越えたときに欠陥信号を発生する信号発生手段とからなることを特徴とする表面検査装置。
IPC (2件)：
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