感光性ポリイミド前駆体、感光性ポリイミド樹脂組成物、及び該樹脂組成物を用いた半導体素子の製造方法

発明者： ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：西川繁明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-076645
公開番号（公開出願番号）：特開2004-285129
出願日： 2003年03月19日
公開日（公表日）： 2004年10月14日
要約：

【課題】熱膨張率と残留応力が小さく、基板との密着性に優れ、破断強度と破断伸びが大きいポリイミド膜を形成することができ、しかもシリコンウエハ上に膜を形成したとき、シリコンウエハに生じる反りが小さい感光性ポリイミド前駆体、及び感光性ポリイミド樹脂組成物を提供すること。【解決手段】主鎖中にテトラカルボン酸またはその酸無水物とジアミンとの重縮合生成物から形成された繰り返し単位を有し、その両末端に化学線官能基を有する感光性ポリイミド前駆体である。テトラカルボン酸またはその酸無水物が、剛直構造の芳香族テトラカルボン酸またはその酸無水物を70〜100モル%の割合で含有するものであり、かつ、ジアミンが、剛直構造の芳香族ジアミンを70〜100モル%の割合で含有する。【選択図】なし

請求項（抜粋）：

主鎖中に、テトラカルボン酸またはその酸無水物とジアミンとの重縮合生成物から形成された式(1)

IPC (7件)：

C08G73/10 , G03F7/004 , G03F7/027 , G03F7/038 , G03F7/40 , H01L23/29 , H01L23/31

FI (7件)：

C08G73/10 , G03F7/004 501 , G03F7/027 503 , G03F7/027 514 , G03F7/038 504 , G03F7/40 521 , H01L23/30 D

Fターム (83件)：

2H025AA10 , 2H025AA14 , 2H025AB16 , 2H025AC01 , 2H025AD01 , 2H025BC32 , 2H025BC42 , 2H025BC69 , 2H025CA01 , 2H025CA20 , 2H025CA28 , 2H025CC03 , 2H025FA03 , 2H025FA15 , 2H025FA29 , 2H025FA43 , 2H096AA25 , 2H096BA05 , 2H096BA06 , 2H096BA20 , 2H096EA02 , 2H096GA03 , 2H096HA01 , 2H096HA27 , 2H096JA04 , 4J043PA02 , 4J043QB31 , 4J043RA35 , 4J043SA06 , 4J043SA42 , 4J043SA43 , 4J043SA44 , 4J043SA54 , 4J043SA62 , 4J043SA72 , 4J043TA22 , 4J043TA43 , 4J043TA44 , 4J043TA67 , 4J043UA032 , 4J043UA041 , 4J043UA052 , 4J043UA121 , 4J043UA122 , 4J043UA131 , 4J043UA132 , 4J043UA141 , 4J043UA142 , 4J043UA151 , 4J043UA162 , 4J043UA261 , 4J043UA262 , 4J043UA332 , 4J043UA361 , 4J043UA381 , 4J043UA382 , 4J043UA451 , 4J043UA531 , 4J043UA561 , 4J043UA712 , 4J043UA761 , 4J043UB011 , 4J043UB012 , 4J043UB021 , 4J043UB022 , 4J043UB121 , 4J043UB122 , 4J043UB152 , 4J043UB221 , 4J043UB281 , 4J043UB301 , 4J043UB302 , 4J043UB351 , 4J043UB401 , 4J043UB402 , 4J043ZB22 , 4J043ZB47 , 4M109AA02 , 4M109CA05 , 4M109DB17 , 4M109EA08 , 4M109EA15 , 4M109ED03

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