特許
J-GLOBAL ID：200903035785275130
静電アクチユエータ
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
石田 長七 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-279893
公開番号（公開出願番号）：特開平5-122947
出願日： 1991年10月25日
公開日（公表日）： 1993年05月18日
要約：
【要約】【目的】可動子を固定子のほぼ全域に亙って2次元的に移動させる。【構成】絶縁体の固定子基板12に複数個の固定子電極11を配列して固定子1を形成する。可動子2は固定子1の少なくとも一部に対面し、固定子電極11に与えられた電荷により電荷が静電誘導される。各固定子電極11は、固定子基板12の面内に設定した平面格子の格子点上に互いに離間して配置される。固定子電極11に与える駆動電圧の極性を切り換えると、可動子2に静電誘導された電荷と固定子電極11との間にクーロン力が作用して、可動子2が移動する。
請求項（抜粋）：
面上に複数個の固定子電極を配列した固定子と、少なくとも一部の固定子電極に対面する可動子とを備え、各固定子電極への駆動電圧の印加パターンを変化させることにより固定子電極と可動子との間に作用するクーロン力によって固定子電極を配列した面に沿うように可動子を移動させる静電アクチュエータにおいて、各固定子電極は、固定子電極を配列した面内で互いに交差する方向にそれぞれ所定間隔で設定した複数本の平行線の交点上に、互いに離間した形で配置されたことを特徴とする静電アクチュエータ。
引用特許：
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