特許

J-GLOBAL ID：200903035785752116

基板の温度調節用ステージ

発明者： 吉光 利男 ,  板東 賢一 ,  齋尾 克男 ,  門谷 ▲かん▼一 ,  箕西 幹夫
出願人/特許権者： 株式会社小松製作所
代理人 (1件)： 上村 輝之 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-023622
公開番号（公開出願番号）：特開2000-223494
出願日： 1999年02月01日
公開日（公表日）： 2000年08月11日
要約：

【要約】【課題】 均熱性に優れた熱による撓みも無い平板状の基板温度調節用ステージを提供する。【解決手段】 薄い平板状の容器3は、その上面に基板が載せられ内部に熱媒体流体が流れる容器本体30と、流体の流入口24と流出口25を下面に持ち本体30から耳状に張り出したインレット部10とアウトレット部20を有する。容器3の上板5と下板55は、同じ材料且つ同じ厚さである。また、上板5の上面と下板55の下面は凹凸無く平らである。インレット部10及びアウトレット部20の下面に、容器3よりも熱伝導率の低い材料のフランジ11を介して流体の供給パイプ及び排出パイプが取付けられている。フランジ11とインレット部10及びアウトレット部20の下面との間に、Oリング13を介装させてわずかな隙間を設ける。容器3内の空洞4に多数のリブ17がある。インレット部10及びアウトレット部20の容器本体30との接続部分50及び60がくびれている。

請求項（抜粋）：

熱媒体流体を利用して基板を加熱又は冷却する温度調節用ステージにおいて、前記基板を載置するための上面を持った上板と、下面を持った下板と、前記上板と下板との間に形成された前記熱媒体流体を流すための空洞と、前記熱媒体流体の流入口と流出口とを備える平板状の容器と、前記容器の流入口に取付けられた前記容器に前記熱媒体流体を供給するための供給パイプと、前記容器の流出口に取付けられた前記容器から前記熱媒体流体を排出するための排出パイプとを備え、前記上板の上面と前記下板の下面は実質的に凹凸無く平らである温度調節用ステージ。

IPC (2件)：

H01L 21/324 ,  H01L 21/68

FI (3件)：

H01L 21/324 J ,  H01L 21/324 Q ,  H01L 21/68 N

Fターム (4件)：

5F031CA02 ,  5F031CA05 ,  5F031HA37 ,  5F031HA38