特許
J-GLOBAL ID：200903035789704043
光学バイアス調整方法及び導波路型光変調デバイス並びに導波光への位相差付与方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
後藤 洋介 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-168156
公開番号（公開出願番号）：特開平7-028006
出願日： 1993年07月07日
公開日（公表日）： 1995年01月31日
要約：
【要約】【目的】 光導波路上に応力(歪み)を加えることで、光導波路の屈折率を変化させて位相差を調整することができる光学バイアス調整方法及び導波路型光変調デバイス並びに導波光への位相差付与方法を提供する。【構成】 マッハツェンダー干渉計2の分岐された一方の光導波路7の一部分に1500オングストロームの膜厚のSiO2 をスパッタする。LiNbO3 基板11上に、チタンを900〜1100°Cの温度で数時間熱拡散して形成された入力光導波路12、位相シフト光導波路13,14、出力光導波路15を形成する。一方位相シフト光導波路14上の一部にバッファー層16が設けられていない部分110を形成する。バッファー層16が設けられていない部分110の一部に、シアノアクリレート系高分子接着剤111を塗布する。
請求項（抜粋）：
電気光学効果を有する光学結晶基板上に設置された、この結晶より屈折率を高くした光導波路により構成される光変調器の光学バイアス調整方法であって、光導波路上の一部または複数部の領域に、蒸着法またはスパッタ法により光透過膜を形成することによって、上記蒸着法またはスパッタ法により光透過膜を形成した光導波路の一部または複数部に伸縮の歪により屈折率変化を起こさせて光導波路中の光の位相を変動させ、光学バイアスを調整することを特徴とする光学バイアス調整方法。
IPC (4件)：
G02F 1/03 502
, G02B 6/12
, G02B 6/122
, G02F 1/035
G02B 6/12 J
, G02B 6/12 A
