特許
J-GLOBAL ID:200903035794199497
2次元位相情報計測装置
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
長谷川 芳樹 (外3名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平4-033333
公開番号(公開出願番号):特開平5-231951
出願日: 1992年02月20日
公開日(公表日): 1993年09月07日
要約:
【要約】【目的】 2次元の光位相分布の変調方向を高精度かつ高速で求めること。【構成】 光ヘテロダイン干渉装置は、2次元的な位相情報を所定の時間的な搬送周波数にのった光ヘテロダイン信号に変換する。半導体レーザ71は、非対称な波形を有し前記搬送周波数に対応する周波数で繰り返す基準信号光を出力する。SLM60は、光ヘテロダイン信号によって書き込まれ、基準信号によって読みだされる。つまり、光ヘテロダイン信号と基準信号の重複を2次元並列に求めることができる。この場合、半導体レーザ71が非対称な波形を有する基準信号光を発生するので、各点における2次元信号と基準信号との重複量は、光ヘテロダイン干渉手段に入力される2次元的な位相情報の各点での位相変調の方向に応じて増減する。
請求項(抜粋):
2次元的な位相情報を所定の時間的な搬送周波数にのった2次元信号光に変換する光ヘテロダイン干渉手段と、前記2次元信号光に対して非対称な波形を有し前記搬送周波数に対応する周波数で繰り返す基準信号光を出力する光源手段と、前記光ヘテロダイン干渉手段からの前記2次元信号光と前記光源手段からの前記基準信号光との重複を、2次元並列に光演算する演算手段と、を備える2次元位相情報計測装置。
IPC (3件):
G01J 9/02
, G01B 9/02
, G01M 11/00
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