特許
J-GLOBAL ID:200903035795911727

陽極酸化方法および装置

発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平5-168600
公開番号(公開出願番号):特開平7-003499
出願日: 1993年06月15日
公開日(公表日): 1995年01月06日
要約:
【要約】【目的】 陽極プローブと正常に接続されている基板数を自動的に判定し、また、基板1枚当りの電流を常に一定にして高品質酸化膜を作る方法と装置を提供する。【構成】 基板の電流を測定して、前記基板の電源切離しと前記基板の接続数に対応した電流を設定することを特徴とする。
請求項(抜粋):
絶縁性基板上に金属膜を形成した2枚以上の基板を電解液に浸漬して1台の直流電源で陽極酸化する方法において、前記基板の電流を測定して異常基板を検出し、前記異常基板の回路切離しと正常基板の接続数に対応した電流を設定することを特徴とした陽極酸化方法。
IPC (2件):
C25D 21/12 ,  C25D 11/04 101

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