特許
J-GLOBAL ID：200903035805502308
電子線照射装置の窓箔冷却構造
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
中沢 謹之助 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-140605
公開番号（公開出願番号）：特開平9-292500
出願日： 1996年04月25日
公開日（公表日）： 1997年11月11日
要約：
【要約】【課題】 線量分布を従来と変えることなく、電子線密度を増化することができ、また、同じ電子線密度であれば、電子線の利用効率をあげることができる電子線照射装置を提供すること。【解決手段】 真空チャンバ1の電子線照射窓に取り付けられ、表面に窓箔7が取り付けられる多数の電子取り出し孔4を有する窓桟21に、窓縁辺に沿って主水路22A、22Bを形成し、前記主水路22A、22B間に、前記主水路22A、22Bに対して傾斜するとともに、前記主水路22A、22Bの投影線上で重ならない間隔で形成された複数の分岐水路23a〜23dを形成し、窓箔7に対する水路への熱伝導距離を短縮する。
請求項（抜粋）：
多数の電子取り出し孔と冷却水路とを有し、表面に窓箔が取り付けられる窓桟を備える電子線照射装置の窓箔冷却構造であって、前記窓桟の冷却水路は、前記電子線照射窓の互いに対向する縁辺に沿って形成された主水路と、前記主水路間に跨って形成され前記主水路と連通する複数の分岐水路とからなり、前記複数の分岐水路は、それぞれに前記主水路に対して傾斜するとともに、前記主水路の投影線上で重ならない間隔で形成されてなることを特徴とする電子線照射装置の窓箔冷却構造。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G21K 5/04 E
, G21K 5/00 W
