特許

J-GLOBAL ID：200903035806540637

弾性表面波フィルタ

発明者： 穴迫 健一
出願人/特許権者： 沖電気工業株式会社
代理人 (1件)： 清水 守 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-195555
公開番号（公開出願番号）：特開平11-041055
出願日： 1997年07月22日
公開日（公表日）： 1999年02月12日
要約：

【要約】【課題】 チップ内のSAWフィルタに薄膜コンデンサを組み込み、特性の向上、小形化及びコストの低減化を図ることができる弾性表面波フィルタを提供する。【解決手段】 圧電基板10上に形成されるIDT11と、このIDT11上に形成される薄膜酸化シリコン膜15と、前記IDT11の一方に接続される入力導体パターン膜13と、この入力導体パターン膜13に接続されるとともに、前記薄膜酸化シリコン膜15の上部に接続される入力導体パターン膜電極16と、前記IDT11のもう一方に接続されるGND導体パターン膜14と、このGND導体パターン膜14に接続されるとともに、前記薄膜酸化シリコン膜16の下部であって、前記入力導体パターン膜電極16と少なくとも一部が対向するように配置されるGND導体パターン膜電極14とを具備する。

請求項（抜粋）：

(a)基板と、(b)該基板上に形成されるIDTと、(c)該IDT上に形成される薄膜酸化シリコン膜と、(d)前記IDTの一方に接続される入力導体パターン膜と、(e)該入力導体パターン膜に接続されるとともに、前記薄膜酸化シリコン膜の上部に接続される入力導体パターン膜電極と、(f)前記IDTのもう一方に接続されるGND導体パターン膜と、(g)該GND導体パターン膜に接続されるとともに、前記薄膜酸化シリコン膜の下部であって、前記入力導体パターン膜電極と少なくとも一部が対向するように配置されるGND導体パターン膜電極とを具備することを特徴とする弾性表面波フィルタ。

IPC (2件)：

H03H 9/145 ,  H03H 3/10

FI (3件)：

H03H 9/145 D ,  H03H 9/145 C ,  H03H 3/10

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 弾性表面波フィルタ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-196728   出願人：富士通株式会社