特許
J-GLOBAL ID:200903035814240340

空気分離装置における不純物除去装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 小谷 悦司 (外3名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平3-343340
公開番号(公開出願番号):特開平5-172458
出願日: 1991年12月25日
公開日(公表日): 1993年07月09日
要約:
【要約】【目的】 空気分離装置において、原料空気中の一酸化炭素及び水素を高レベルで除去することにより、超高純度窒素の製造を可能にする。【構成】 原料空気中の一酸化炭素及び水素の酸化を促進させる触媒塔20と、この触媒塔20に原料空気を通す原料空気通路12,18,24,34とを備えた不純物除去装置。上記触媒塔20よりも上流側の位置に、上記原料空気中から上記触媒塔20の触媒毒となる炭化水素と二酸化炭素と水とを吸着除去する吸着ユニット14を配置する。
請求項(抜粋):
空気分離装置に設けられ、その低温分離部に導入される前の原料空気から不純物を除去するための装置であって、上記原料空気中の一酸化炭素及び水素の酸化を促進させる触媒装置と、この触媒装置に原料空気を通して上記低温分離部へ導く原料空気通路とを備えるとともに、この原料空気通路において上記触媒装置よりも上流側の位置に、上記原料空気中から上記触媒装置の触媒毒となる炭化水素と二酸化炭素と水とを吸着除去する吸着装置を設けたことを特徴とする空気分離装置における不純物除去装置。
IPC (2件):
F25J 3/08 ,  B01D 53/36 104
引用特許:
審査官引用 (1件)
  • 特開平3-194381

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