特許
J-GLOBAL ID：200903035815815720
半導体生産ラインにおける自動搬送システム
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
岡田 和秀
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-073492
公開番号（公開出願番号）：特開平6-286824
出願日： 1993年03月31日
公開日（公表日）： 1994年10月11日
要約：
【要約】【目的】装置の監視をリアルタイムで的確に行え、半導体製造装置への部材供給が自動化され、フレキシブルな拡張性を備えるようにする。【構成】制御ユニット40Aは半導体製造装置30A2 からのマガジン供給要求があると、ストック装置20Aを制御し、バーコードリーダ90AでマガジンIDを読み取り、コンベヤ60A1 ,60A2 および移載機70A2 ,80A2 を制御して、該当するマガジンを自動的に供給搬送し、あるいはマガジン排出要求があるとコンベヤ60A1 ,60A2 および移載機70A2 ,80A2 を制御してマガジンを半導体製造装置30A2 から排出搬送し、コンピュータ10は搬送状況を表示しかつ履歴を記録する。
請求項（抜粋）：
コンピュータと、制御ユニットと、ストック装置と、コンベヤと、移載機と、半導体製造装置とから構成され、システム機能として、ストック装置制御機能,コンベヤ制御機能,移載機制御機能,装置間部材受け渡し制御機能,搬送状況表示機能,搬送状況履歴管理機能を備えていることを特徴とする半導体生産ラインにおける自動搬送システム。
IPC (3件)：
B65G 1/137
, H01L 21/02
, H01L 21/68
