特許
J-GLOBAL ID：200903035816139728
3軸加速度計
ジュビサ・リスティック
, ジュビサ・リスティック について
ロナルド・ジェイ・ガターリッジ
,
, ロナルド・ジェイ・ガターリッジ について
マイケル・エフ・キャラウェイ
, マイケル・エフ・キャラウェイ について
ウィリアム・シー・ダン
ウィリアム・シー・ダン について
出願人/特許権者：
モトローラ・インコーポレイテッド
モトローラ・インコーポレイテッド について
代理人 (1件)： 池内 義明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-301708
公開番号（公開出願番号）：特開平5-249138
出願日： 1992年10月14日
公開日（公表日）： 1993年09月28日
要約：
【要約】【目的】 半導体プロセスによって容易に製造でき、高感度、小型かつ低価格の3軸加速度計を実現する。【構成】 一対の固定プレート(14,24または54,60)とそれらの間に可動的に装着された第3のプレート(16または56)を有しすべての3つのプレートを通る第1の軸(Z)に沿った加速度を検出する。プレートの内2つ(14,16)はまたお互いに対しかつ前記第1の軸(Z)に対し垂直な2つの軸(X,Y)内でそこから外側に延びるフィンガ(30,31,32,33,34)を有する。前記プレートおよびフィンガはそれらの間に容量を形成し、これらの容量は3つの互いに直交する軸に沿った加速度を示す信号を生成するために使用される。
請求項（抜粋）：
3軸加速度計であって、各々ほぼ1つの面を規定しかつ各々前記規定された面が互いに平行でありかつ間隔をおいて装着された複数の導電材料層(14,16)であって、前記層の内第1のもの(14)は固定的に装着されかつ第2の層(16)は前記第1の層に関して限られた運動が可能なように装着されているもの、前記第1および第2の層(14,16)によって形成される第1の容量(26)であって該第1の容量は前記第1および第2の層(14,16)によって規定される第1の軸(Z)に沿った加速度計の加速度に従って変化するもの、それぞれ、前記第1および第2の層(14,16)の一部として形成されかつ平行に並べて配置された第1および第2の構造体(54,56または30,31,32,33,34)であって、前記第2の構造体(56または30)は前記第2の層(16)とともにかつ前記第1の層(14)に対して移動可能であり、前記第1および第2の構造体はさらに互いにかつ前記第1の軸(Z)に対して相互に直交する第2および第3の軸(X,Y)を規定するよう形成されているもの、そして前記第1および第2の構造体の間に形成される可変容量(38,39および36,37)であって、該可変容量はそれぞれ前記第2および第3の軸における加速度に従って変化するもの、を具備することを特徴とする3軸加速度計。
引用特許：
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