特許
J-GLOBAL ID：200903035819471308
ターボ分子ポンプによる排気方法及び装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
石戸 元
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-050345
公開番号（公開出願番号）：特開平5-248387
出願日： 1992年03月09日
公開日（公表日）： 1993年09月24日
要約：
【要約】【目的】 初期排気時から通常排気時までターボ分子ポンプの排気性能を維持し、排気に要する時間を短縮する。【構成】 被排気室1に連結されたターボ分子ポンプ4の吸気配管3に、仕切り手段7を介して室内に冷却可能な熱交換手段9を有する伸縮可能な退避室8を設け、ターボ分子ポンプ4による初期排気時に仕切り手段7を開き吸気配管3内に熱交換手段9を進退手段11により挿入して冷却された熱交換手段9に水蒸気を氷結捕集し、初期排気後の通常排気時には退避室8内に熱交換手段9を進退手段11により退け、仕切り手段7を閉じて封じ込める。
請求項（抜粋）：
被排気室(1)に連結されたターボ分子ポンプ(4)の吸気配管(3)に、仕切り手段(7)を介して室内に冷却可能な熱交換手段(9)を有する伸縮可能な退避室(8)を設け、ターボ分子ポンプ(4)による初期排気時に仕切り手段(7)を開き吸気配管(3)内に熱交換手段(9)を進退手段(11)により挿入して冷却された熱交換手段(9)に水蒸気を氷結捕集し、初期排気後の通常排気時には退避室(8)内に熱交換手段(9)を進退手段(11)により退け、仕切り手段(7)を閉じて封じ込めることを特徴とするターボ分子ポンプによる排気方法。
IPC (2件)：
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