特許

J-GLOBAL ID：200903035834305120

アライメント装置、アライメント方法、露光装置、及び露光方法

発明者： 近藤 尚人
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 前田 均 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-069722
公開番号（公開出願番号）：特開2001-257157
出願日： 2000年03月14日
公開日（公表日）： 2001年09月21日
要約：

【要約】【課題】 基板の位置決めと、その位置決めに先立つアライメント光学系の焦点位置の検出とを高精度に行うことができるアライメント装置、アライメント方法、露光装置、及び露光方法を提供することを目的とする。【解決手段】 ストリートラインSL上にアライメントマークAM1〜AM4が形成されたウェハWのアライメントマークAM1〜AM4の位置を検出するアライメント装置であって、アライメント装置は、ストリートラインSL上であってアライメントマークAM1〜AM4が形成された領域と異なる領域に位置ずれ検出のための照明光を照射する。ストリートラインSLが直交して形成される場合に備え、X方向に長手方向を有する矩形の照明光ILX1,ILX2とY方向に長手方向を有する矩形の照明光ILY1,ILY2とを照明することが好ましい。

請求項（抜粋）：

ストリートライン上にマークが形成された基板の該マークの位置を検出する位置検出光学系と、前記基板に検出光を照射するとともに該検出光の反射光を検出することにより該照射領域の前記位置検出光学系の合焦面に対するずれを検出する焦点検出系とを備えたアライメント装置において、前記ストリートライン上であって前記マークの形成領域と異なる領域に前記検出光を照射することを特徴とするアライメント装置。

IPC (3件)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/22 ,  G03F 9/02

FI (3件)：

G03F 7/22 H ,  G03F 9/02 H ,  H01L 21/30 525 F

Fターム (9件)：

5F046BA04 ,  5F046CB26 ,  5F046EB07 ,  5F046FA03 ,  5F046FA10 ,  5F046FB04 ,  5F046FB09 ,  5F046FB12 ,  5F046FC05