照明光学装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：山口孝雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-170087
公開番号（公開出願番号）：特開平8-017223
出願日： 1994年06月29日
公開日（公表日）： 1996年01月19日
要約：

【要約】【目的】マスク上において複数の照明領域を照射することのできる全体的に小型の照明光学装置を提供すること。【構成】本発明においては、投影露光すべきマスク上の複数の領域を照明するための照明光学装置であって、少なくとも2つの光源と、各光源からの光を集光して光源像を形成するための集光光学系と、前記光源と同数の入射端および前記複数の照明領域と同数の射出端を有し、前記入射端の各々に入射した各光源像からの光を前記複数の射出端へ導くためのライトガイド手段と、該ライトガイド手段の各射出端から射出された前記光源像からの光を前記マスクの対応する領域に照射するための照明光学系とを備え、前記ライトガイド手段は束ねられた複数の光ファイバーからなり、各射出端における光量が互いにほぼ等しくなるように光分割する。

請求項（抜粋）：

投影露光すべきマスク上の複数の領域を照明するための照明光学装置であって、少なくとも2つの光源と、各光源からの光を集光して光源像を形成するための集光光学系と、前記光源と同数の入射端および前記複数の照明領域と同数の射出端を有し、前記入射端の各々に入射した各光源像からの光を前記複数の射出端へ導くためのライトガイド手段と、該ライトガイド手段の各射出端から射出された前記光源像からの光を前記マスクの対応する領域に照射するための照明光学系とを備え、前記ライトガイド手段は束ねられた複数の光ファイバーからなり、各射出端における光量が互いにほぼ等しくなるように光分割することを特徴とする照明光学装置。

IPC (4件)：

F21V 8/00 , G02B 6/00 301 , G02B 6/00 331 , G02F 1/133 535

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