特許
J-GLOBAL ID：200903035844183384
処理装置及びその制御方法
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-119221
公開番号（公開出願番号）：特開平10-307604
出願日： 1997年05月09日
公開日（公表日）： 1998年11月17日
要約：
【要約】【課題】 管理項目が異なる複数の処理を平行して実行することができる処理装置及びその制御方法を提供することを目的とする。【解決手段】 被処理体に処理を行う複数の処理ユニット26と、前記被処理体を処理装置内で搬送する搬送機構25と、前記処理ユニットにおける処理及び前記被処理体の搬送を制御する制御手段21とを具備し、前記制御手段21は、処理のシーケンスを管理するシーケンス管理手段22と、前記処理の時間を管理する時間管理手段23と、前記シーケンス管理手段及び前記時間管理手段からのデータに基づいて処理が重複する処理ユニットを抽出し、抽出された処理ユニットにおいて優先する処理シーケンスを決定する決定手段24とを含むことを特徴としている。
請求項（抜粋）：
被処理体に対して処理を行う処理装置であって、被処理体に処理を行う複数の処理ユニットと、前記被処理体を処理装置内で搬送する搬送機構と、前記処理ユニットにおける処理及び前記被処理体の搬送を制御する制御手段とを具備し、前記制御手段は、処理のシーケンスを管理するシーケンス管理手段と、前記処理の時間を管理する時間管理手段と、前記シーケンス管理手段及び前記時間管理手段からのデータに基づいて処理が重複する処理ユニットを抽出し、抽出された処理ユニットにおいて優先する処理シーケンスを決定する決定手段とを含むことを特徴とする処理装置。
IPC (5件)：
G05B 15/02
, H01L 21/027
, G03F 7/16 501
, G03F 7/30 501
, H01L 21/02
G05B 15/02 Z
, G03F 7/16 501
, G03F 7/30 501
, H01L 21/02 Z
, H01L 21/30 562
