特許

J-GLOBAL ID：200903035861971884

電子線発生装置及び電子線照射装置

発明者： 吉岡 毅 ,  梶山 雅章
出願人/特許権者： 株式会社荏原製作所
代理人 (1件)： 渡邉 勇 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-161920
公開番号（公開出願番号）：特開2001-343500
出願日： 2000年05月31日
公開日（公表日）： 2001年12月14日
要約：

【要約】【課題】 電子線照射装置の電子銃の大電流化に伴い、安定した電子ビームを発生することができる電子線発生装置を提供する。【解決手段】 電子線発生器内の加速電極2のビーム通過穴径を40mmφ以上300mmφ以下とすることにより、電子銃7近傍の放電にともなう電位不安定性が生じてもビーム電子の加速電極2への衝突を無くすることで電子発生器の運転の安定化を図った。

請求項（抜粋）：

真空中に配置された電子源と、内部に前記電子源を有し電界により電子を放出する電子銃と、前記電子銃及び前記電子銃から発生した電子に負電位を与え電子銃に電子を供給する高電圧電源と、前記電子が通過経路を自身の内部に有する前記電子を加速する複数の加速電極と、前記加速電極と交互に積層・固定されて加速管を形成する前記加速電極と略同数の絶縁物を有し、前記電子線のエネルギーが500keVから1500keVであり、且つ前記電子線の電流値が略500mAの電子線発生装置において、前記加速電極の前記通過経路の内径が40mmφ以上300mmφ以下とした形状であることを特徴とする電子線発生装置。

IPC (6件)：

G21K 5/04 ,  B01D 53/60 ,  B01D 53/74 ,  B01J 19/08 ,  G21K 1/00 ,  H01J 37/04

FI (5件)：

G21K 5/04 F ,  B01J 19/08 C ,  G21K 1/00 E ,  H01J 37/04 Z ,  B01D 53/34 132 A

Fターム (21件)：

4D002AA02 ,  4D002AA12 ,  4D002AC01 ,  4D002BA09 ,  4D002CA20 ,  4G075AA03 ,  4G075AA37 ,  4G075BA05 ,  4G075BA06 ,  4G075CA05 ,  4G075CA39 ,  4G075CA61 ,  4G075DA01 ,  4G075DA18 ,  4G075EA06 ,  4G075EB43 ,  4G075EC21 ,  4G075FA01 ,  4G075FC15 ,  5C030BB09 ,  5C030BB17