表示パネル用基板、その製造方法およびそれに用いる薄膜形成装置

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：大前要
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-124138
公開番号（公開出願番号）：特開2002-333845
出願日： 2001年04月23日
公開日（公表日）： 2002年11月22日
要約：

【要約】【課題】表示パネル用基板を安価に提供する。【解決手段】本発明によると、少ないマスクを用いて生産性良く表示パネル用基板を製造することができる。絶縁基板と、その上に形成された導電層の複数、絶縁層および半導体層を加工して得られた要素とを備えた表示パネル用基板の製造において、導電層の複数のうち最下層に配された導電層を加工して形成された配線要素に電気的に接続した他の導電層を形成する。さらに、導電層、絶縁層または半導体層は、たとえば絶縁基板の周縁部を選択的に被覆する遮蔽物を用いて所定の領域に選択的にのみ形成される。

請求項（抜粋）：

絶縁基板と、前記絶縁基板上に形成された導電層の複数、絶縁層および半導体層を加工して得られた要素とを備えた表示パネル用基板の製造方法であって、前記導電層の複数のうち最下層に配された導電層を加工して形成された配線要素に電気的に接続して他の導電層を形成する表示パネル用基板の製造方法。

IPC (5件)：

G09F 9/30 338 , G02F 1/1343 , G02F 1/1368 , H01L 21/336 , H01L 29/786

FI (5件)：

G09F 9/30 338 , G02F 1/1343 , G02F 1/1368 , H01L 29/78 623 A , H01L 29/78 612 D

Fターム (72件)：

2H092GA24 , 2H092GA32 , 2H092GA40 , 2H092GA43 , 2H092JA26 , 2H092JB66 , 2H092JB69 , 2H092KA05 , 2H092KB04 , 2H092MA19 , 5C094AA42 , 5C094AA43 , 5C094AA44 , 5C094AA48 , 5C094BA03 , 5C094BA27 , 5C094BA43 , 5C094CA19 , 5C094DA13 , 5C094DB02 , 5C094DB04 , 5C094EA04 , 5C094EA05 , 5C094FA01 , 5C094FA02 , 5C094FB12 , 5C094FB14 , 5C094FB15 , 5C094GB10 , 5C094JA08 , 5F110AA16 , 5F110AA22 , 5F110BB01 , 5F110CC07 , 5F110DD02 , 5F110EE02 , 5F110EE03 , 5F110EE04 , 5F110EE15 , 5F110EE32 , 5F110EE44 , 5F110FF01 , 5F110FF02 , 5F110FF03 , 5F110FF29 , 5F110GG02 , 5F110GG15 , 5F110GG25 , 5F110GG35 , 5F110GG44 , 5F110HK02 , 5F110HK03 , 5F110HK04 , 5F110HK09 , 5F110HK16 , 5F110HK22 , 5F110HK25 , 5F110HK33 , 5F110HK34 , 5F110HL02 , 5F110HL03 , 5F110HL04 , 5F110HL12 , 5F110HL23 , 5F110NN02 , 5F110NN22 , 5F110NN23 , 5F110NN24 , 5F110NN35 , 5F110NN36 , 5F110NN72 , 5F110NN73

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