特許
J-GLOBAL ID：200903035869093193
原子間力顕微鏡のアライメント方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
木内 修
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-086738
公開番号（公開出願番号）：特開平6-273161
出願日： 1993年03月22日
公開日（公表日）： 1994年09月30日
要約：
【要約】 (修正有)【目的】 カンチレバーの位置を2次元的に微調整するだけで、容易にレーザ光の焦点位置にカンチレバーを配置することができるようにする。【構成】 まず、マットガラス10をホルダ11を介してフレーム12の孔12aに取り付ける。光学顕微鏡9の焦点をマットガラス10の上面に合わせる。そして、カンチレバー3にレーザ光L1 を照射するレーザ光源6を動かして、レーザ光L1 のスポット径が光学顕微鏡9の視野中心に来るようにし、スポット径が最小になるようにする。このときレーザ光L1 はマットガラス10の上面で散乱するのでレーザ光L1 のスポット形状を観察することができる。レーザ光L1 のスポット径が光学顕微鏡9の視野中心に来て、スポット径が最小になったとき、その位置でレーザ光源6を固定する。その後、マットガラス10をフレーム12から取り外し、最後に、カンチレバー3を取り付ける。
請求項（抜粋）：
まず、散乱体の上面をカンチレバーの基準点と同じ高さに配置し、次に、光学顕微鏡の焦点を前記散乱体の上面に合わせ、そして、前記カンチレバーにレーザ光を照射する照射光学系を動かして、前記レーザ光のスポット径が前記光学顕微鏡の視野中心に来るようにするとともに、前記スポット径が最小になるようにし、前記スポット径が前記光学顕微鏡の視野中心に来るとともに、前記スポット径が最小になったとき、その位置で前記照射光学系を固定し、その後、前記散乱体を前記光学顕微鏡の焦点位置から離し、最後に、前記カンチレバーを取り付けることを特徴とする原子間力顕微鏡のアライメント方法。
IPC (2件)：
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