特許

J-GLOBAL ID：200903035873786497

研磨パッド及びその製造方法

発明者： 富永 茂 ,  鈴木 眞
出願人/特許権者： 株式会社ロキテクノ
代理人 (1件)： 稲垣 仁義
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-223541
公開番号（公開出願番号）：特開2002-036129
出願日： 2000年07月25日
公開日（公表日）： 2002年02月05日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】安定した研磨性能が得られる研磨パッドを提供する。【解決手段】1種類以上の砥粒を含んだシートをスパイラル状に巻き付け円筒状に形成し、その切断面を研磨面とした。

請求項（抜粋）：

1種類以上のシートの切断面が、研磨パッドの研磨面にスパイラル状に配置されていることを特徴とする研磨パッド。

IPC (3件)：

B24D 11/00 ,  B24B 37/00 ,  H01L 21/304 622

FI (3件)：

B24D 11/00 F ,  B24B 37/00 C ,  H01L 21/304 622 F

Fターム (18件)：

3C058AA07 ,  3C058AA09 ,  3C058CA06 ,  3C058DA17 ,  3C063AA02 ,  3C063AB05 ,  3C063BA15 ,  3C063BA33 ,  3C063BB02 ,  3C063BB03 ,  3C063BB04 ,  3C063BB07 ,  3C063BC03 ,  3C063BF09 ,  3C063CC22 ,  3C063CC30 ,  3C063EE10 ,  3C063FF30

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 研磨パッド及びそれを用いた研磨装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-263665   出願人：株式会社東芝
• 積層式ロールタイプの研削工具及びその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-205468   出願人：新日本製鐵株式会社, 三共理化学株式会社
• 金属の黒皮削りに使用する研磨ロール
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-109006   出願人：株式会社精研