特許
J-GLOBAL ID:200903035887305017

スパッタ用ターゲット

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 志賀 正武 (外2名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平5-117457
公開番号(公開出願番号):特開平6-330296
出願日: 1993年05月19日
公開日(公表日): 1994年11月29日
要約:
【要約】【目的】 金属アレルギーを引き起こさず、しかも優れた金色の色調と耐摩耗性とを有する金色装飾品を製造するための、スパッタ用ターゲットを得る。【構成】 スパッタ用ターゲットが、Au90〜99重量%、Pd0.2〜2.0重量%、およびFe0.8〜8.0重量%からなる。
請求項(抜粋):
Au90〜99重量%、Pd0.2〜2.0重量%、およびFe0.8〜8.0重量%からなる、金色加飾のためのスパッタ用ターゲット。

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