特許
J-GLOBAL ID：200903035887974407
高純度窒素の製造装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高田 幸彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-240904
公開番号（公開出願番号）：特開平5-079754
出願日： 1991年09月20日
公開日（公表日）： 1993年03月30日
要約：
【要約】【目的】本発明の目的は、深冷分離装置より不純物の極めて少ない高純度の窒素を製造する高純度窒素の製造装置を提供することにある。【構成】従来の深冷分離装置に、低温で吸着操作を行う吸着装置を付加し、精留塔からの液体窒素を吸着装置内に少なくとも二個設置されている吸着塔に導き、吸着塔を通った液体窒素を再び吸着塔内に戻すように構成される。【効果】不純物の少ない高純度の窒素を経済的に、かつ、効率良く製造できる効果がある。
請求項（抜粋）：
空気を液化し、精留作用により窒素又は酸素を得る精留塔を備えた深冷分離装置による空気分離装置において、前記精留塔内の液体窒素を該精留塔内より抜き出し、吸着剤を充填した吸着塔に導入し、該吸着塔を通過した液体窒素を再び精留塔内に戻すように構成したことを特徴とする高純度窒素の製造装置。
IPC (3件)：
F25J 3/04
, B01D 53/04
, C01B 21/04
