ポジ型シリコーン含有感光性組成物

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：萩野平 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-143614
公開番号（公開出願番号）：特開2000-235264
出願日： 1999年05月24日
公開日（公表日）： 2000年08月29日
要約：

【要約】【課題】半導体デバイスの製造において、高感度で且つ高い解像力を安定して有し、特に0.2μm以下の微細パターンを形成する際、現像処理後の膜減りが少なく、酸素プラズマ工程でも寸法変動が少なく、保存安定性の良いポジ型感光性組成物を提供することにある。【解決手段】水には不溶性、アルカリには可溶性である特定構造のポリマーと、活性光線もしくは放射線の照射により酸を発生する化合物と、特定構造の繰り返し単位を有し、アルカリ現像液中での溶解度が酸の作用により増大する性質のあるポリマーと、特定構造を有する含窒素化合物とを含有するポジ型シリコーン含有感光性組成物。

請求項（抜粋）：

(a)下記一般式〔I〕及び/又は〔II〕で表される繰り返し単位を有し、水には不溶性、アルカリには可溶性であるポリマーと、(b)活性光線もしくは放射線の照射により酸を発生する化合物と、(c)下記一般式〔III〕で表される繰り返し単位を有し、酸により分解し得る基を有し、アルカリ現像液中での溶解度が酸の作用により増大する性質のあるポリマーと(d)下記一般式〔IV〕で表される含窒素化合物の少なくとも1種及び/又はカルボキシル基置換脂肪族アミンとを含有することを特徴とするポジ型シリコーン含有感光性組成物。【化1】〔一般式〔I〕、〔II〕中、Xは、-C(=O)-R基、-CH(OH)-R基、-OH基及びカルボキシル基よりなる群から選択される基であり、式中の複数のXは同一でも異なっていてもよい。ここでRは、水素原子又は置換基を有していてもよい炭化水素基を示す。R’〜R'''''は、同一でも異なっていてもよく、水酸基、置換基を有していてもよい、アルキル基、シクロアルキル基、アルコキシ基、アルケニル基、アラルキル基及びフェニル基よりなる群から選ばれた基である。Yは、アルキル基、アルコキシ基又はシロキシル基である。R0は、水素原子、ハロゲン原子、置換基を有していてもよい、脂肪族炭化水素基及び芳香族炭化水素基よりなる群から選ばれた基を表す。r、s、tは、1〜3の整数であり、u、v、wは1又は2の整数である。l、m、n及びqは、各々0又は正の整数であり、pは正の整数である。Rα、Rβ、Rγはそれぞれ単結合、-(CH2)k-(Zα)j-Rδ-を表す。Zαは、-OCO-、-O-、-N(Rε)CO-、-COO-、-CON(Rε)-を表す。Rδは、単結合、炭素数1〜12のアルキレン、置換アルキレン、シクロアルキレン、アリ-レン、又はアラルキレンを表す。Rεは、水素原子、置換されていてもよい炭素数1〜10のアルキル基を表す。kは0又は正の整数であり、jは0又は1である。〕【化2】〔一般式〔III〕中、R1〜R3、R5〜R7、R9〜R11は、同一でも異なっていてもよく、水素原子、ハロゲン原子、-COZR13で示される基あるいは、置換基を有していてもよい、アルキル基、アラルキル基又はアルコキシ基である。R4、R8は、同一でも異なっていてもよく、単結合又は下記式で表される2〜5価の基である。【化3】A1〜A5は、同一でも異なっていてもよく、水素原子、-(R14)e又は単結合を表し、A1〜A5のうち少なくとも1つは単結合を表す。R14は上記R1〜R3、R5〜R7、R9〜R11と同義である。R15は、単結合又は-R30-Y3-で表される基である。Zは単結合又は、-O-、-NH-、-NR25-のいずれかで示す基を表す。Y3は、単結合、-S-、-O-、又は-OC(=O)-である。R13、R25は、同一でも異なっていてもよく、置換基を有していてもよい、アルキル基、シクロアルキル基又はアラルキル基を表す。R30は、置換基を有していてもよい、アルキレン基又はシクロアルキレン基である。R2とR4、あるいはR6とR8とは、互いに結合して、下記に示す基を形成していてもよい。【化4】上記の基中、Y0は上記R4、R8と同義であり、Y0がGあるいはQと結合する。Gは、-OH、-COOH、-CONHCOR16、-CONHSO2-R16及び-SO2NH-R16よりなる群から選ばれた基を表す。R16は、置換基を有していてもよい、アルキル基、シクロアルキル基、アシル基又はアリール基である。Qは、下記に示す群から選ばれた基を表す。【化5】Y2は、-O-、-O-C(=O)-O-又は-COO-のいずれかを表す。R18、R19、R21、R22は、同一でも異なっていてもよく、水素原子、又はハロゲン原子を置換基として有していてもよい炭素数1〜4個のアルキル基である。R20は、シリル基、オキシシリル基、又はハロゲン原子を置換基として有していてもよい炭素数1〜4個のアルキル基である。R23は、水酸基、ハロゲン原子、アシル基、置換基を有していてもよい、アルキル基、シクロアルキル基、アラルキル基、アルケニル基、アリロキシアルキル基、アラルキルオキシアルキル基、又はシクロアルキル-アルキル基である。R17は、下記に示す基のいずれかを表す。【化6】上記R26、R27は、各々上記R18、R19、R21、R22と同義である。R28は、置換基を有していてもよい、アルキル基、シクロアルキル基、アリール基又はアラルキル基である。R26とR27及び/又はR28とが互いに結合して4〜9員の単環もしくは多環を形成してもよい。R29は、水素原子、ハロゲン原子あるいは、置換基を有していてもよい、アルキル基、シクロアルキル基、アリール基、アラルキル基、アルコキシ基、アシル基、アシルアミノ基、アルコキシカルボニル基である。R12は、水素原子、ハロゲン原子、置換基を有していてもよい、アルキル基、アラルキル基あるいはアルコキシ基、もしくは、-COZR13(Z、R13は前記と同義である)で表される基、又は下記に示すいずれかの置換基である。【化7】上記式中、Z、R15は、前記と同義である。R24は、前記R29と同義である。a、c、dは各々、0又は正の整数であり、bは正の整数である。eは0又は1〜4の整数であり、f、gは各々1〜4の整数であり、hは1〜6の整数である。〕。【化8】〔Zβは、下記式で表されるいずれかの基である。【化9】Zγ、Zδは、それぞれ下記式で表されるいずれかの基である。【化10】R31、R32、R33、R34、R35は、同一でも異なっていてもよく、それぞれ水素原子、ハロゲン原子、オキソ基、置換基を有してもよいアルキル基、シクロアルキル基、アリール基、アラルキル基、アルコキシ基、アシル基、アシルアミノ基、カルボキシル基、シアノ基、ヒドロキシル基、カルバモイル基、アルキルカルバモイル基、アルコキシカルボニル基、ホルミル基、アミノ基、ニトロ基、アルキルチオ基、アリ-ルチオ基、アルケニル基、スチリル基、又はアリールスルホニル基を表す。また、R31、R32、R33、R34、R35のいずれかの基を介してビス体を形成してもよい。Aβは、水素原子、又は下記式で表される基である。【化11】R36,R37,R38は、同一でも異なっていてもよく、それぞれ水素原子、置換基を有してもよいアルキル基、シクロアルキル基、アリール基、アラルキル基、アシル基、カルバモイル基、又はアルキルカルバモイル基を表す。m1 、m2 、m3 、m4 、m5 は0又は1〜6の整数である。但し、m1 、m2 、m3 、m4 及びm5 の総和は4〜6である。R31、R32、R33、R34、R35-Aβは、互いに結合して、5〜7員の炭化水素環又はヘテロ環を形成してもよい。〕

IPC (4件)：

G03F 7/075 511 , C08L 83/06 , G03F 7/039 601 , H01L 21/027

FI (4件)：

G03F 7/075 511 , C08L 83/06 , G03F 7/039 601 , H01L 21/30 502 R

Fターム (47件)：

2H025AA00 , 2H025AA01 , 2H025AA02 , 2H025AA03 , 2H025AB16 , 2H025AC04 , 2H025AC08 , 2H025AD03 , 2H025BE00 , 2H025BE01 , 2H025BE07 , 2H025BE10 , 2H025BG00 , 2H025CB07 , 2H025CB08 , 2H025CB10 , 2H025CB13 , 2H025CB14 , 2H025CB16 , 2H025CB17 , 2H025CB33 , 2H025CB34 , 2H025CB41 , 2H025CB43 , 2H025CB45 , 2H025CB52 , 2H025CC20 , 2H025FA17 , 4J002BC01X , 4J002BC07X , 4J002BC08X , 4J002BC10X , 4J002BG04X , 4J002BG05X , 4J002CP03W , 4J002CP04W , 4J002CP05W , 4J002EB006 , 4J002EN027 , 4J002EN117 , 4J002EN136 , 4J002EQ006 , 4J002EU007 , 4J002EV256 , 4J002EV296 , 4J002FD156 , 4J002GP03

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