特許
J-GLOBAL ID：200903035898875583
レジスト剥離用の吸水性シート類、及びこれを用いたレジストの剥離方法
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-209436
公開番号（公開出願番号）：特開平7-066102
出願日： 1993年08月24日
公開日（公表日）： 1995年03月10日
要約：
【要約】【目的】 本発明は、例えば、半導体、回路、各種プリント基板、各種マスク、リードフレームなどの各種微細加工部品の製造時において、不要となったレジストからなる画像を剥離除去するために、好適に用いられるレジスト剥離用のシートもしくはテープなどのシート類、及びこれを用いたレジストの剥離方法に関する。【構成】 基材もしくは感圧性接着剤層の少なくとも1つが吸水性もしくは保水性を有する吸水性シート類に水分を保持させ、レジストパターンが存在する物品上のレジスト上に貼り付け、該吸収性シート類に保持された水分をレジスト表面に移行させて、該吸収性シート類とレジストとを一体に物品から剥離する。
請求項（抜粋）：
基材上に、感圧性接着剤層が設けられてなるレジスト剥離用シート類であって、該基材もしくは感圧性接着剤層の少なくとも1つが吸水性もしくは保水性を有することを特徴とするレジスト剥離用の吸水性シート類。
IPC (2件)：
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