特許

J-GLOBAL ID：200903035903100293

ヒートシンク用ダイヤモンド膜

発明者： 野田 正治 ,  内田 清 ,  伊藤 明生 ,  樋口 和夫
出願人/特許権者： 株式会社豊田中央研究所
代理人 (1件)： 大川 宏
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-319313
公開番号（公開出願番号）：特開平10-158092
出願日： 1996年11月29日
公開日（公表日）： 1998年06月16日
要約：

【要約】【課題】十分な冷却能をもちかつ十分信頼性の高いヒートシンクが得られ、また高い生産効率でヒートシンクを得ることのできるヒートシンク用ダイヤモンド膜を提供する。【解決手段】本発明のヒートシンク用ダイヤモンド膜は、多結晶のダイヤモンド膜であって、0.1mm以下の結晶子径をもつ結晶粒が、全体積を100体積%とすると50体積%以上含まれ、かつラマン分光スペクトルで1333cm-1付近のピーク強度と1500cm-1付近のピーク強度とをそれぞれA、Bで表すと、A/(A+B)の値が0.5〜0.99の範囲にあることを特徴とする。

請求項（抜粋）：

多結晶のダイヤモンド膜であって、0.1mm以下の結晶子径をもつ結晶粒が、全体積を100体積%とすると50体積%以上含まれ、かつラマン分光スペクトルで1333cm-1付近のピーク強度と1500cm-1付近のピーク強度とをそれぞれA、Bで表すと、A/(A+B)の値が0.5〜0.99の範囲にあることを特徴とするヒートシンク用ダイヤモンド膜。

IPC (2件)：

C30B 29/04 ,  H01L 23/373

FI (3件)：

C30B 29/04 H ,  C30B 29/04 D ,  H01L 23/36 M