特許

J-GLOBAL ID：200903035903371823

走査型プローブ顕微鏡における測定データの補正方法

発明者： 大場 雅宏
出願人/特許権者： オリンパス光学工業株式会社
代理人 (1件)： 鈴江 武彦 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-352552
公開番号（公開出願番号）：特開2000-180339
出願日： 1998年12月11日
公開日（公表日）： 2000年06月30日
要約：

【要約】【課題】測定した試料表面の形状に変化を与えることなく、歪み成分を除去し、歪みの無い測定データを得る走査型プローブ顕微鏡の補正方法を提供する。【解決手段】走査型プローブ顕微鏡の測定データをマトリックス状に並ぶ高さデータとしてコンピュータに取り込む。このデータ全体に対して主走査方向に沿った一次微分データを求める(S1)。一次微分データは、例えば、主走査方向に沿った隣り合う二つのデータの差として求められる。次に、この一次微分データ全体の高さ分布のヒストグラムを求める(S2)。続いて、このヒストグラムの最大ピーク位置を求める(S3)。このヒストグラムの最大ピークを示す位置は、元データ全体の主走査方向に沿った一次の傾きに相当する。最後に、最大ピーク位置pを一次の傾きとして、これを元データから除去する(S4)。これにより、データ全体の主走査方向に沿った一次の傾きが除去される。

請求項（抜粋）：

走査型プローブ顕微鏡によって得られる試料表面の測定データの補正方法であり、測定データ全体の微分データを求める工程と、求めた微分データ全体のヒストグラムを求める工程と、求めたヒストグラムの最大ピーク位置を求める工程と、求めた最大ピーク位置に基づいて測定データを補正する工程とを有している、走査型プローブ顕微鏡における測定データの補正方法。

IPC (4件)：

G01N 13/10 ,  G01B 21/30 ,  G01D 1/14 ,  G12B 1/00 601

FI (4件)：

G01N 37/00 W ,  G01B 21/30 Z ,  G01D 1/14 ,  G12B 1/00 601 A

Fターム (9件)：

2F069AA60 ,  2F069EE02 ,  2F069EE04 ,  2F069GG62 ,  2F069JJ00 ,  2F069NN05 ,  2F069NN10 ,  2F069NN25 ,  2F069QQ07