特許

J-GLOBAL ID：200903035907027353

形状測定装置及び形状測定方法

発明者： 新保 晃平
出願人/特許権者： 株式会社リコー
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-345476
公開番号（公開出願番号）：特開2001-165629
出願日： 1999年12月03日
公開日（公表日）： 2001年06月22日
要約：

【要約】【課題】 被測定面の傾きの大きい物でも被接触で面形状の測定が可能な形状測定装置を提供する。【解決手段】 少なくとも1自由度の並進動作をする走査ステージと、走査ステージの変位を検出する第1の変位検出手段と、走査ステージ上に設置され並進動作をする追従ステージと、追従ステージの変位を検出する第2の変位検出手段と、追従ステージ上に設置された回転ステージと、回転ステージの回転角を検出する回転角検出手段と、回転ステージ上に設置され、測定原点と被測定面との距離を求める変位センサと測定軸と被測定面法線ベクトルとのなす角を求める傾斜角センサよりなるプローブ装置と、傾斜角センサが常に0近傍を示し、且つ変位センサが常に0近傍を示すように回転ステージと追従ステージを制御する制御手段とを備え、第1及び第2の変位検出手段ならびに回転角検出手段、プローブ装置の出力値を逐次記憶し、これらの値より被測定物の輪郭形状を複数の座標データとして求める。

請求項（抜粋）：

少なくとも1自由度の並進動作をする走査ステージと、走査ステージの変位を検出する第1の変位検出手段と、走査ステージ上に設置され並進動作をする追従ステージと、追従ステージの変位を検出する第2の変位検出手段と、追従ステージ上に設置された回転ステージと、回転ステージの回転角を検出する回転角検出手段と、回転ステージ上に設置され、測定原点と被測定面との距離を求める変位センサと測定軸と被測定面法線ベクトルとのなす角を求める傾斜角センサよりなるプローブ装置と、傾斜角センサが常に0近傍を示し、且つ変位センサが常に0近傍を示すように回転ステージと追従ステージを制御する制御手段と、第1及び第2の変位検出手段、回転角検出手段ならびにプローブ装置の出力値を逐次記憶し、これらの値より被測定物の輪郭形状を複数の座標データとして求める演算手段を備えたことを特徴とする形状測定装置。

Fターム (32件)：

2F065AA04 ,  2F065AA06 ,  2F065AA53 ,  2F065BB05 ,  2F065CC22 ,  2F065EE00 ,  2F065FF09 ,  2F065FF10 ,  2F065FF66 ,  2F065FF67 ,  2F065GG04 ,  2F065GG13 ,  2F065GG22 ,  2F065HH13 ,  2F065JJ01 ,  2F065JJ05 ,  2F065JJ09 ,  2F065JJ16 ,  2F065JJ23 ,  2F065LL04 ,  2F065LL20 ,  2F065LL30 ,  2F065LL46 ,  2F065MM06 ,  2F065PP03 ,  2F065PP05 ,  2F065PP22 ,  2F065QQ17 ,  2F065QQ18 ,  2F065QQ27 ,  2F065QQ41 ,  2F065QQ42